Las mismas herramientas de litografía que necesitan aire limpio también necesitan un piso que no se mueva debajo de ellas. Patrones con características medidas en nanómetros, y la más mínima vibración puede arruinar una oblea. Las plantas se construyen para cumplir con curvas de criterio de vibración, un estándar de ingeniería que el Instituto de Ciencias Ambientales y Tecnología adoptó después de que Ungar y Gordon lo propusieron por primera vez en 1983, según Colin Gordon Associates. El nivel más estricto, llamado VC-E, limita la vibración del suelo a 3.12 micrómetros por segundo, lo que los propios autores del estándar llaman "un criterio desafiante de lograr". Los cimientos deben estar mecánicamente separados del resto del edificio, con espacios físicos entre las losas aisladas y la estructura circundante.